Techniques de fabrication des microsystèmes

Name: Techniques de fabrication des microsystèmes
ISBN: 9782746208186

ISBN-13

9782746208186

Éditeur

Hermès science publications (Paris)

Date de publication

01/01/2004

Résumé

Collection : Traité EGM. Microsystèmes Comprend : Vol. 1, Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces ; Vol. 2, Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs

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